长光华大建成基于热蒸发技术的光学镀膜平台并成功镀制首款精密光学滤光片

发布时间：2023-07-07 19:11:59

2023年7月7日，长春长光华大智造测序设备有限公司（以下简称长光华大）使用刚刚完成安装调试的热蒸发镀膜设备成功镀制了三片时空组学切片扫描仪的明场激发滤光片，其核心指标光谱特性（OD 6和透过率95%）、透射波前、表面疵病、膜层牢固度均达到设计要求。由此标志着长光华大建成了基于热蒸发技术的光学镀膜平台并掌握了相关高端光学镀膜技术。

光学镀膜是指在光学零件表面涂镀一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程，目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。光学镀膜元件是光电仪器设备的重要元件，往往决定着后者的功能和性能指标。华大智造的基因测序仪、系列显微镜等产品均需使用高反、减反、分光、截止、带通等几乎所有种类的滤光片。因此建立自主可控的光学镀膜能力对公司产品研发制造具有重要意义。

2022年5月17日，华大智造EMT会议批准了“长光华大智造关于自主建立高端光学镀膜平台的请示”，长光华大与华大智造总部设备采购管理部门迅速开展设备寻源采购工作。经过一年多的努力，全面完成了镀膜实验室规划和建设、设备调研采购、技术团队组建、关键滤光片膜系设计，以及首款滤光片镀膜工艺开发和正式件镀膜。

首款精密光学滤光片镀膜成功，标志着华大智造初步建立起了自主可控的镀膜平台和团队，掌握了高端光学镀膜技术，填补了光学设备及器件研发制造的能力空白，有利于解决高端镀膜产品单一供应商和替代进口问题。据悉，磁控溅射镀膜设备也已完成招标采购，预计2024年4月到货，届时长光华大将具备为测序仪、系列显微镜等全部光学产品提供全套滤光片的能力，同时可承接外部客户的高端镀膜需求。高端光学镀膜能力的建立将对华大智造乃至华大集团的高端仪器装备发展产生重要推动作用。（苗亮供稿）